創(chuàng)意無極限，儀表大發(fā)明，今天為大家介紹一項國家發(fā)明授權(quán)專利——磁傳感器芯片，磁傳感器及其制作方法，該專利由公司申請，并于2017年2月22日獲得授權(quán)公告。
內(nèi)容說明。
本發(fā)明涉及一種磁傳感器芯片，磁傳感器及其制作方法。
發(fā)明背景。
磁傳感器即是借助敏感單元對磁變化的敏感作用，將敏感單元的磁性能變化轉(zhuǎn)換成電信號，再通過測量電信號獲得對應(yīng)地磁場，電流，應(yīng)力應(yīng)變，溫度或光等物理量。
隨著技術(shù)的進(jìn)步，具有低功耗，體積小，響應(yīng)快，分辨率高，穩(wěn)定性好，可靠性高等諸多優(yōu)點的磁傳感器芯片作為磁傳感器的核心部件，而且，磁傳感器芯片使得磁傳感器在磁信息存儲，自動化，物聯(lián)網(wǎng)以及智能電網(wǎng)等領(lǐng)域展示了廣闊的應(yīng)用前景，表現(xiàn)出十分優(yōu)異的性能。
由于制作工藝的不均勻，磁敏感薄膜單元11a，11b的阻值不能完全對稱，使得磁敏感薄膜單元11a，11b的磁性能存在差異，從而導(dǎo)致磁傳感器的的磁滯現(xiàn)象嚴(yán)重，即磁滯較大且不同，霍爾電流傳感器。
另外，磁敏感薄膜單元11a，11b的電阻值會隨環(huán)境的溫度的變化而變化，而且變化量因制作工藝的不均勻性而不同，即磁敏感薄膜單元11a和磁敏感薄膜單元11b的溫漂差異大，這對磁傳感器的穩(wěn)定性及溫漂特性造成了巨大的影響，同時降低了磁傳感器的靈敏度。
發(fā)明內(nèi)容。
本發(fā)明要解決的技術(shù)問題就是針對磁傳感器機(jī)中存在的上述缺陷，提供一種磁傳感器芯片，磁傳感器及其制作方法，其減小甚至消除了磁滯現(xiàn)象，而且提高了溫漂特性和敏度。
為解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述缺陷，本發(fā)明提供一種磁傳感器芯片，包括至少一對相互獨立的磁敏感薄膜，在所述磁敏感薄膜的端部設(shè)有用于電連接所述磁敏感薄膜的第一電極，在每一對所述磁敏感薄膜中，至少一個所述磁敏感薄膜通過所在端的第一電極與一可調(diào)電阻電連接，所述磁敏感薄膜，所述第一電極和所述可調(diào)電阻電連接構(gòu)成惠斯通電橋電路，所述可調(diào)電阻用于調(diào)節(jié)所述可調(diào)電阻所在惠斯通電橋電路的支路的總電阻，以使霍爾電壓傳感器得惠斯通電橋電路中對臂電阻相互平衡。
其中，包括一對所述磁敏感薄膜，該對所述磁敏感薄膜的釘扎方向相反，借助所述第一電極將所述磁敏感薄膜電連接成惠斯通半橋電路。
1，測量精確，最高可達(dá)0.3%。
2，測量過程無機(jī)械接觸，無磨損，可靠性高。
3，可現(xiàn)場外部校準(zhǔn)零點，滿量程。
4，對于不同尺寸，不同體積的油箱的油位校準(zhǔn)，可根據(jù)需要現(xiàn)場截斷，適用范圍寬。
5，智能化數(shù)字信號輸出，可與上位機(jī)通訊。
6，防爆性能高，可根據(jù)防爆要求制作成本安型，隔爆型產(chǎn)品，適用于各種危險場所。
7，耐沖擊抗震動，壽命長：內(nèi)部采用微型隧道技術(shù)，裝有獨特避震器，輕松應(yīng)。
對顛簸路況，（傳統(tǒng)為浮子杠桿結(jié)構(gòu)，顛簸路況極易致命損壞）。
8，傳感器頂部為螺紋結(jié)構(gòu)可安裝法蘭，對于大型車則有標(biāo)準(zhǔn)尺寸的一體化機(jī)構(gòu)，無需變動油路和電路接口，可直接替換安裝，安裝維護(hù)簡便，產(chǎn)品可滿足高溫，高壓及振動場合需要，無需定期維護(hù)與標(biāo)定。
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